超純水是為了研制超純材料（半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等）應用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當的超臨界精細技術(shù)生產(chǎn)出來(lái)的水，其電阻率大于18 MΩ*cm，或接近18.3 MΩ*cm極限值（25℃）。簡(jiǎn)單得說(shuō)就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水 [2]  。這樣的水是一般工藝很難達到的程度，理論上可以采用二級反滲透再經(jīng)過(guò)串聯(lián)的混合型交換樹(shù)脂柱對二次反滲水進(jìn)行處理，但是交換樹(shù)脂的再生不便，質(zhì)量難以保證。

超純水渦輪流量計主要測量不導電介質(zhì),連接方式有螺紋,法蘭以及快裝連接,現場(chǎng)顯示并可輸出電流信號和通訊,供數據遠傳使用.

廈門(mén)精川純水流量計,純凈水渦輪流量計常見(jiàn)故障及解決方案:

一、流體正常流動(dòng)時(shí)無(wú)顯示，總量計數器字數不增加 

　　1. 檢查電源線(xiàn)、保險絲、功能選擇開(kāi)關(guān)和信號線(xiàn)有無(wú)斷路或接觸不良 

　　2. 檢查顯示儀內部印刷版，接觸件等有無(wú)接觸不良 

　　3. 檢查檢測線(xiàn)圈 

　　4. 檢查傳感器內部故障，上述1-3項檢查均確認正?；蛞雅懦收?，但仍存在故障現象，說(shuō)明故障在傳感器流通通道內部，可檢查葉輪是否碰傳感器內壁，有無(wú)異物卡住，軸和軸承有無(wú)雜物卡住或斷裂現象 

解決方案 

　　1. 用歐姆表排查故障點(diǎn) 

　　2. 印刷板故障檢查可采用替換“備用版”法，換下故障板再作細致檢查 

　　3. 做好檢測線(xiàn)圈在傳感器表體上位置標記，旋下檢測頭，用鐵片在檢測頭下快速移動(dòng)，若計數器字數不增加，則應檢查線(xiàn)圈有無(wú)斷線(xiàn)和焊點(diǎn)脫焊 

　　4. 去除異物，并清洗或更換損壞零件，復原后氣吹或手撥動(dòng)葉輪，應無(wú)摩擦聲，更換軸承等零件后應重新校驗，求得新的儀表系數 

二、 未作減小流量操作，但流量顯示卻逐漸下降 

　　1.  過(guò)濾器是否堵塞，若過(guò)濾器壓差增大，說(shuō)明雜物已堵塞 

　　2.  流量傳感器管段上的閥門(mén)出現閥芯松動(dòng)，閥門(mén)開(kāi)度自動(dòng)減少 

　　3.  傳感器葉輪受雜物阻礙或軸承間隙進(jìn)入異物，阻力增加而減速減慢 

解決方案 

　　1.  消除過(guò)濾器 

　　2.  從閥門(mén)手輪是否調節有效判斷，確認后再修理或更換 

　　3.  卸下傳感器清除，必要時(shí)重新校驗                      

廈門(mén)精川純水設備配套渦輪流量計解決方案 

　　1.  檢查屏蔽層，顯示儀端子是否良好接地 

　　2.  加固管線(xiàn)，或在傳感器前后加裝支架防止振動(dòng) 

　　3.  檢修或更換閥 

　　4.  采取“短路法”或逐項逐個(gè)檢查，判斷干擾源，查出故障點(diǎn)

廈門(mén)精川超純水渦輪流量計應用:
超純水可以在以下領(lǐng)域使用 [4]  ：
（1）電子、電力、電鍍、照明電器、實(shí)驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領(lǐng)域。
（2）化工工藝用水、化學(xué)藥劑、化妝品等。
（3）單晶硅、半導體晶片切割制造、半導體芯片、半導體封裝 、引線(xiàn)柜架、集成電路、液晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線(xiàn)路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產(chǎn)品及各種元器件等生產(chǎn)工藝。
（4）高壓變電器的清洗等

超純水系統是指系統從原水至超純水完整產(chǎn)生的生產(chǎn)系統。 一般超純水系統是經(jīng)由多重過(guò)濾，離子交換，除氣，逆滲透，紫外線(xiàn)，超濾，納米率，離子吸附過(guò)濾所產(chǎn)生的超純水。